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本发明公开了一种定位测试结构的断路失效点的方法，包括：步骤一、提供形成有测试结构的样品；测试结构的第一和第二金属层图形通过各通孔形成一个串联电阻结构，串联电阻结构的两端的第二金属层图形组成第一和第二测试端；将各测试端顶部的金属扩散阻挡层去除...
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