温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种工艺控制方法、系统和计算机设备。所述方法包括：获取第一套刻误差，所述第一套刻误差为前批次晶圆的第一膜层制作时的套刻误差，所述前批次晶圆已完成第一膜层制作；获取第二套刻误差，所述第二套刻误差为当前批次晶圆的第二膜层制作时的套刻误...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。