温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于电子化学品领域，具体涉及一种含碳膜层的清洗液及清洗方法。所述清洗液组成包括重铬酸盐、酸、氟化物、表面活性剂及超纯水。该清洗液可在有效去除晶圆表面的碳膜、碳氧化硅膜、碳氮化硅膜等含碳膜层的同时，不损伤硅晶圆表面，有利于晶圆的重复利用...
该专利属于湖北兴福电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北兴福电子材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。