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本实用新型属于硅晶圆加工技术领域，尤其为一种高精度硅晶圆载盘，包括底座，底座内部固定安装有真空泵，底座顶部固定安装有载盘主体，载盘主体上设置有通孔，载盘主体上设置有滑槽，滑槽内部设置有滑块，滑槽上设置有锁紧螺栓。本实用新型通过设置有底座、真...
该专利属于江苏希太芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏希太芯科技有限公司授权不得商用。

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