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本发明提供一种等离子体处理装置，可以排除由安装状况或尺寸误差造成的缝隙天线中的电流流动的不均匀性，生成均匀的等离子体。将电介质板（４）配置为使构成处理容器的一部分的平板外罩（１４）的上部开口封闭，在电介质板（４）的上部配置产生等离子体的缝隙...该专利属于东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学授权不得商用。