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本申请涉及光伏领域，特别是一种CVD工序真空吹扫系统，包括真空泵、进气管路、出气管路及吹扫管路，其特征在于，所述吹扫管路包括第一支路、第二支路，所述第一支路、第二支路为并联管路，所述第一支路至少还设置有第一流量阀，所述第二支路至少还设置有第...
该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。

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