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本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其为一种晶圆轮廓对准装置，包括底座，底座顶部固定安装有安装座，安装座一侧固定安装有微型电机，微型电机一端设置有螺纹杆，螺纹杆上设置有螺纹套，螺纹套顶部固定安装有固定座。本实用新型通过设置有安装座、微型电机...
该专利属于江苏希太芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏希太芯科技有限公司授权不得商用。

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