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本发明涉及含有溅射沉积钝化层的光伏器件及其生产方法和生产设备。具体地，本发明公开了一种生产包括至少一个半导体单元的光伏器件的方法，包括如下步骤：通过刻蚀来清洗所述半导体单元的至少一个表面；在基本上无氧或贫氧的环境中干燥所述半导体单元的所述至...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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