下载一种IC载板涨铜柱工艺的技术资料

文档序号:37646057

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本发明提出一种IC载板涨铜柱工艺,包括:PTH,在基板上进行PTH,上一层铜,形成PTH层;第一次压膜、曝光、显影,将需要镀铜的线路和pad露出来;镀铜,在露出来的PTH层上再镀上一层铜,形成镀铜层;一次电金,在镀铜层上镀一层金,形成第一电...
该专利属于圆周率半导体(南通)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过圆周率半导体(南通)有限公司授权不得商用。

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