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本发明涉及衬底的处理方法、计算机存储介质以及衬底处理系统。在本发明中，在衬底上形成疏密的抗蚀剂图形的情况下，测定各个抗蚀剂图形尺寸，基于密的抗蚀剂图形的尺寸测定结果算出第一处理装置的修正值，基于疏的抗蚀剂图形的尺寸测定结果算出第二处理装置的...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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