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三维集成电路结构及其制造方法技术
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文档序号:37632779
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一种三维集成电路结构包括:第一管芯,包括第一电力输送网络、第一基板、第一器件层和第一金属层;在第一管芯上的第二管芯,第二管芯包括第二电力输送网络、第二基板、第二器件层和第二金属层;第一贯通电极,从第一电力输送网络延伸到第一金属层的顶表面;在...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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