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本发明提供这样一种衬底传送装置：从朝向在传送轴处设置的轴承部单独供给和调节润滑液的方式变更为统一供给和调节润滑液的集成方式，可以使与轴承部的浸渍容量均匀，并提高润滑和清洗质量，并且排除用于供给润滑液的动力模块，简化复杂的配管结构，从而可以减...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

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