温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种退火装置，装置包括：加热台，所述加热台具有承载面；光源，用于发出激光束；光学组件，设置于所述激光束的光路上，所述光学组件用于调整所述激光束的光路，使所述激光束入射至所述承载面；隔离板，设置于所述承载面与光学组件之间，且与所述承载面相间隔...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。