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量子级联激光器及其制作方法技术
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文档序号:37624402
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本发明提供了一种量子级联激光器及其制作方法,应用于半导体激光器技术领域,包括:光发射区域,用于发射激光,滤波区域,用于对该激光进行光束整形,并输出整形后的激光,该滤波区域包括第一光子晶体和第二光子晶体,该第一光子晶体和该第二光子晶体的结构相...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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