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本发明提供一种用于晶圆的定位搬运装置，涉及搬运装置技术领域，包括支座，所述支座上设置有横向移载模组，所述横向移载模组包括一号步进电机，所述一号步进电机装在支座的表面，所述一号步进电机的输出端安装有一号同步轮组件，所述一号同步轮组件的表面设置...
该专利属于江苏峰博装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏峰博装备技术有限公司授权不得商用。

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