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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:37620643
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本申请实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及其制造方法,半导体结构包括:基底,基底内具有多个间隔排布的字线,相邻字线间具有沟槽;位线接触层,位线接触层底面和沟槽底面相接触,且位线接触层在远离沟槽底面的方向上具有非平面接触部;导电层,导电...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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