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包括掩埋接触部的半导体器件及其制造方法技术
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下载包括掩埋接触部的半导体器件及其制造方法的技术资料
文档序号:37616408
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一种半导体器件,包括:有源图案;栅结构,连接到所述有源图案;位线结构,连接到所述有源图案;掩埋接触部,连接到所述有源图案;接触图案,覆盖所述掩埋接触部;着接焊盘,连接到所述接触图案;以及电容器结构,连接到所述着接焊盘,其中,所述掩埋接触部包...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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