下载半导体结构的制备方法及半导体结构的技术资料

文档序号:37612216

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本申请实施例提供了一种半导体结构的制备方法和半导体结构,涉及半导体技术领域,方法包括:提供基底;刻蚀基底,以在基底中形成多个沿第一方向延伸的位线凹槽;在多个位线凹槽中依次形成第一隔离层、位线金属线层、位线导电连接层和第一绝缘层,得到位线结构...
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