下载硅单晶提拉用石英玻璃坩埚的制造方法的技术资料

文档序号:3760967

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本发明提供不进行内表面的全面磨削处理即可减少透明层中气泡量的硅单晶提拉用石英玻璃坩埚的新型制造方法。该方法包括下述步骤:通过对由石英原料粉形成的坩埚形状成型体从内表面向外表面方向减压、并使上述坩埚形状成型体旋转的同时进行电弧熔融形成内表面侧...
该专利属于日本超精石英株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本超精石英株式会社授权不得商用。

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