下载一种碲镉汞材料的P型热处理方法的技术资料

文档序号:37609065

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本发明属于半导体材料加工制备的技术领域,具体为一种碲镉汞材料的P型热处理工艺方法。本发明对外延生长得到的碲镉汞材料进行富汞热处理和真空热处理,根据碲镉汞材料的厚度确定富汞热处理的时间,并同时控制热处理的温度、真空退火处理的温度与时间,能够解...
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