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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:37608384
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本申请实施例提供了一种半导体结构的制造方法,所述方法包括:在半导体衬底上形成第一沟槽;其中,所述第一沟槽贯穿至少两个晶体管的导电沟道;至少部分所述导电沟道位于所述第一沟槽的底部;相邻的所述导电沟道之间具有氧化层;所述导电沟道在所述第一沟槽内...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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