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本发明提供了一种半导体结构及其制备方法，涉及半导体技术领域，包括：衬底；字线结构，字线结构在衬底上沿第一方向延伸且在第二方向间隔排布，第二方向与第一方向垂直；间隔结构，间隔结构位于字线结构上方，间隔结构包括第一间隔层和空气间隙，第一间隔层设...
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