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本申请公开了一种控温组件、上电极组件、工艺腔室及半导体处理设备，上电极控温组件包括：导热基座；加热环，设置于导热基座的顶面，用于对导热基座的边缘进行加热；多个第一加热带，由加热环的内侧向加热环的圆心延伸，并且沿加热环的周向均匀分布，第一加热...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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