下载晶体生长设备的技术资料

文档序号:37602958

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本实用新型公开了一种晶体生长设备,晶体生长设备包括炉体、坩埚、加热器及隔挡件。坩埚设于炉体内,坩埚内放置生产晶体的原料。加热器位于炉体与坩埚之间,加热器用于对坩埚加热,加热器包括主加热器、两个加热器支腿及两个加热器脚,主加热器环绕在坩埚的外...
该专利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏协鑫硅材料科技发展有限公司授权不得商用。

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