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提供了一种用于已清洁的封装基板的制造方法。该方法适用于玻璃基板或包含该玻璃基板的封装基板的制造过程，并且包括：将目标基板设置在腔室中的准备过程；及在目标基板的至少一个表面上喷射电离空气，以使颗粒状杂质分离的除去过程。目标基板是玻璃封装基板或...
该专利属于爱玻索立克公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱玻索立克公司授权不得商用。

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