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本公开是关于一种掩膜版数据生成方法、装置、设备及介质，掩膜版数据生成方法包括：基于半导体结构的初始图形数据，确定辅助图形数据；将初始图形数据和辅助图形数据合并，得到合并数据；对合并数据进行数据提取，确定出与半导体结构的各层别对应的初始层别图...
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