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本发明公开了一种氮化钛薄膜的制作方法，涉及磁控溅射领域，旨在解决在陶瓷基板上制备氮化钛薄膜的技术问题，其技术方案要点是：将陶瓷基板放入磁控溅射镀膜机的真空室内，打开磁控溅射镀膜机的机械泵
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该专利属于江苏富乐华功率半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏富乐华功率半导体研究院有限公司授权不得商用。

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