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双层悬空梁微结构薄膜量热计制造技术
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文档序号:3755313
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本发明公开了一种双层悬空梁微结构薄膜量热计,属于微型传感器技术领域。其特征是该双层悬空梁微结构薄膜量热计,包括硅衬底、第一层薄膜悬梁和第二层薄膜悬梁,其特征在于:第一层薄膜悬梁两端固支,悬架在硅衬底上,平行于硅衬底表面;第二层薄膜悬梁两端固...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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