【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种双层悬空梁微结构薄膜量热计，包括硅衬底（１０）、第一层薄膜悬梁（１１）和第二层薄膜悬梁（１２），其特征在于：第一层薄膜悬梁（１１）两端固支，悬架在硅衬底（１０）上，平行于硅衬底（１０）表面；第二层薄膜悬梁（１２）两端固支，平行于硅衬底（１０）表面，悬架在第一层薄膜悬梁（１１）上，不与第一层薄膜悬梁（１１）相接触，与第一层薄膜悬梁（１１）垂直。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：冯冲，吕安新，唐祯安，余隽，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]
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