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一种用于聚合物微流控芯片微通道超声波键合的微结构制造技术
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下载一种用于聚合物微流控芯片微通道超声波键合的微结构的技术资料
文档序号:3755197
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本发明公开了一种聚合物微流控芯片微通道超声波键合的微结构,属于聚合物MEMS制造领域,用于聚合物微流控芯片微通道的封接。其特征是该微结构由微导能结构和微通道组成,键合过程发生的界面为与微导能结构直接接触的平面,通过微导能结构在超声波键合过程...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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