【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种聚合物微流控芯片微通道超声波键合的微结构,其特征在于,该微结构的导能结构(1)和微流控芯片的微通道(2)直接接触形成键合界面,或将微流控芯片的微通道(2)与导能结构(1)制作在同一器件上,然后再通过与另一基片的配合,在与微导能结构(1)接触的平面处形成键合界面;导能结构(1)和微通道(2)进行对准装配或导能结构(1)和微通道(2)制作在一体上时,导能结构(1)分布在微通道(2)的两侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王晓东,郑英松,张宗波,罗怡,张振强,张彦国,陶琳,
申请(专利权)人:大连理工大学,
类型:发明
国别省市:91[中国|大连]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。