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一种裸片放置系统提供尖端主体及裸片放置头以在无需在每一拾取及放置操作之前进行校准的情况下确保裸片与衬底的平面度。并入到尖端主体中的自对准尖端帮助裸片放置/附接。此尖端提供存在于裸片与衬底之间的平面度误差的全局校正，不论这些误差是源于龙门架未...
该专利属于MRSI系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MRSI系统有限公司授权不得商用。

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