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本申请实施例提供一种炉管与形成薄膜的方法。其中，所述炉管包括：反应室；所述反应室中设置有承载衬底的晶舟和用于通入气体的注入管路集；其中，所述通入气体至少包括：含硅反应气体、含氮反应气体、除杂反应气体和清洁气体；所述注入管路集包括竖直设置的第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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