下载研磨盘的降温方法的技术资料

文档序号:37507728

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本发明公开了一种研磨盘的降温方法,包括:在研磨之前和/或在研磨的过程中,根据预先配置的压块重量、研磨盘转速和氮气输入量之间的对应关系,确定与当前使用的研磨上压块的重量和研磨盘的当前转速对应的当前氮气输入量;根据所述当前氮气输入量调节冷却装置...
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