温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种基板抛光装置、抛光头以及基板定位保护组件，基板定位保护组件包括定位挡圈以及清洁件。清洁件与定位挡圈相连，并绕定位挡圈的周向设置，清洁件设有用于与研磨垫抵触配合的清洁部，清洁部设有至少一个金刚石。一方面，在对基板抛光作业过程中，...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。