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半导体器件和包括半导体器件的半导体封装件制造技术
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下载半导体器件和包括半导体器件的半导体封装件的技术资料
文档序号:37506280
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提供了半导体器件和包括半导体器件的半导体封装件。所述半导体器件包括:半导体基底;第一层间绝缘层,布置在半导体基底上;低介电层,布置在第一层间绝缘层上;第二层间绝缘层和第三层间绝缘层,顺序地布置在低介电层上;以及贯穿硅过孔,穿透半导体基底和第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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