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本发明涉及一种利于散热的抛光垫，抛光垫上设有用于与器件接触的抛光面，抛光面上设有多个透气孔，多个透气孔分布于整个抛光面；抛光面上设有多个第一沟槽和多个第二沟槽，多个第一沟槽沿第一方向依次并列设置，多个第二沟槽沿第二方向依次并列设置，第一方向...
该专利属于上海芯谦集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯谦集成电路有限公司授权不得商用。

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