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本申请涉及半导体生产设备技术领域,本申请实施例提供了一种除胶装置。上述除胶装置中,除胶装置至少包括基座、夹紧机构和除胶机构,通过将多个封装件放置于基座的容置槽内,并借助夹紧机构固定放置于容置槽内的多个封装件,再利用除胶机构进行对多个封装件进...该专利属于深圳深爱半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳深爱半导体股份有限公司授权不得商用。
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本申请涉及半导体生产设备技术领域,本申请实施例提供了一种除胶装置。上述除胶装置中,除胶装置至少包括基座、夹紧机构和除胶机构,通过将多个封装件放置于基座的容置槽内,并借助夹紧机构固定放置于容置槽内的多个封装件,再利用除胶机构进行对多个封装件进...