下载具有改善的电性能的电介质层的半导体器件及其相关方法的技术资料

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一种具有改进电性能的电介质层的半导体器件及其相关方法,该半导体器件包括:下金属层、电介质层和上金属层,依次设置在半导体基板上;以及插入层,设置在电介质层与下金属层和上金属层中至少之一之间,其中电介质层包括金属氧化物膜,插入层包括金属材料膜。...
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