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提供一种检查装置以及焦点位置调整方法，能够减少自动对焦的追随延迟。根据实施方式，检查装置包括：工作台；照明光学系统；成像光学系统，包括检测焦点位置的传感器；检测电路，基于传感器接收到的光，检测光的焦点位置信号；设定电路，根据使基于对试样被假...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。

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