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一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置及方法，属于光学测量技术领域，解决了现有的装置对表面缺陷的检测识别较为困难，且存在大量误差的问题。所述装置包括激光照射装置、被检测样品装置、激光接收装置、图像观察装置、电路控制装置和显示与数据处理装...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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