【技术实现步骤摘要】
一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置与方法
[0001]本专利技术涉及光学测量
，具体涉及一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置与方法。
技术介绍
[0002]由于精密光学元件的广泛应用，纳米量级表面缺陷的检测识别越来越受到重视，不同的表面缺陷对应的修复技术差异很大，因此，表面缺陷的分类错误将会影响其后续操作处理。
[0003]针对表面缺陷的检测识别系统来说，如图1所示，大部分系统采用机器视觉成像检测的方法，在图像处理过程中可见，它们在通用的检测识别光强图像中有着极其相似的轮廓，纹理上是相同的，都呈现点状，并且对于纳米量级的缺陷尺度，其分布的密度非常小，常规的光学技术目视法或者暗场成像检测法受到一定的限制，其主观性较强，误差较大，且分辨率较低，使得检测识别起来相对困难。
[0004]因此，目前仍缺少高端检测仪器或快捷有效方法，表面缺陷检测识别仍处于很困难的状态，且存在大量误差。
技术实现思路
[0005]本专利技术解决了现有的装置对表面缺陷的检测识别较为困难，且存在大量误差的问...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置，其特征在于，所述装置包括激光照射装置（1）、被检测样品装置（2）、激光接收装置（3）、图像观察装置（4）、电路控制装置（5）和显示与数据处理装置（6）；所述被检测样品装置（2）一侧设置有激光照射装置（1），另一侧设置有激光接收装置（3）；所述被检测样品装置（2）、激光接收装置（3）、图像观察装置（4）和显示与数据处理装置（6）均与电路控制装置（5）连接；所述激光接收装置（3）包括S波光电探测器（35）和P波光电探测器（36）；所述S波光电探测器（35）和P波光电探测器（36）均与电路控制装置（5）连接；所述显示与数据处理装置（6）包括数据处理设备（62）；所述数据处理设备（62）与电路控制装置（5）连接。2.根据权利要求1所述的一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置，其特征在于，所述激光照射装置（1）包括激光光源（11）、扩束器（12）和聚焦透镜（13）；所述激光光源（11）、扩束器（12）和聚焦透镜（13）同轴设置；所述扩束器（12）一侧设置有激光光源（11），另一侧设置有聚焦透镜（13）。3.根据权利要求1所述的一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置，其特征在于，所述被检测样品装置（2）包括支架（21）和X
‑
Y
‑
Z运动控制平台（23）；所述支架（21）与X
‑
Y
‑
Z运动控制平台（23）连接；所述X
‑
Y
‑
Z运动控制平台（23）与电路控制装置（5）连接。4.根据权利要求1所述的一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置，其特征在于，所述激光接收装置（3）还包括偏振器（31）、平面镜（32）、滤波片Ⅰ（33）和滤波片Ⅱ（34）；所述滤波片Ⅰ（33）一侧设置有偏振器（31），另一侧设置有S波光电探测器（35）；所述滤波片Ⅱ（34）一侧设置有平面镜（32），另一侧设置有P波光电探测器（36）。5.根据权利要求1所述的一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置，其特征在于，所述图像观察装置（4）包括CCD探测器（41）、阴极射线管（42）、图像输出装置（43）和图像采集板（44）；所述CCD探测器（41）设置于样品正上方；所述阴极射线管（42）分别与CCD探测器（41）、图像输出装置（43）和图像采集板（44）连接；所述图像采集板（44）与电路控制装置（5）连接。6.根据权利要求1所述的一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置，其特征在于，所述显示与数据处理装置（6）还包括数据输入设备（61）和数据输出设备（63）；所述数据输入设备（61）和数据输出设备（63）均与数据处理设备（62）连接。7.一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的方法，所述方法是采用权利要求1
‑
6中任一所述的一种基于偏振分光检测精密光学元件缺陷的装置实现的，其特征在于，包括以下步骤：将样品表面划分为n个位置，分别为n1，
…
，n
i
，
…
，n
n
位置；步骤S1，激光光源（11）将激光束射...
【专利技术属性】
技术研发人员：付强，刘楠，顾宪松，罗凯明，杨威，张月，段锦，李英超，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。