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本发明公开了一种多组半导体测试设备集中降温的温控装置及方法，温控装置包括：温度传感器、控制组件、换热组件、集中供冷组件和供冷管路，集中供冷组件布置于测试区域外，用于向供冷管路内通入换热介质；换热组件设于供冷管路上；供冷管路外侧具有隔热结构，...
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