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本发明公开了一种抛光垫用聚合物微球的处理方法，所述方法包括：在容器中提供不互溶的多种溶剂，提供空心聚合物微球体；使得所述多个空心微球体与不互溶的溶剂接触，通过搅拌超声使微球在溶剂中浸润并分层，将作为抛光垫填料的经过溶液处理的聚合物微球从特定...
该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。

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