温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:在所述鳍部表面形成伪栅介质层;在所述伪栅介质层上形成横跨所述鳍部的伪栅极结构,所述伪栅极结构包括伪栅极和所述伪栅极侧壁的第一侧墙,所述伪栅极结构位于所述鳍部的部分顶部表面和部分侧壁表面;在所述伪栅极...该专利属于中芯南方集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯南方集成电路制造有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种半导体结构及其形成方法,其中方法包括:在所述鳍部表面形成伪栅介质层;在所述伪栅介质层上形成横跨所述鳍部的伪栅极结构,所述伪栅极结构包括伪栅极和所述伪栅极侧壁的第一侧墙,所述伪栅极结构位于所述鳍部的部分顶部表面和部分侧壁表面;在所述伪栅极...