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氮化镓基紫外-红外双色探测器及制作方法技术
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下载氮化镓基紫外-红外双色探测器及制作方法的技术资料
文档序号:3748058
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一种氮化镓基紫外-红外双色探测器,其中包括:一衬底;一欧姆接触层,该欧姆接触层制作在衬底上;一紫外吸收层,该紫外吸收层制作在欧姆接触层上的一侧,该紫外吸收层的面积小于欧姆接触层的面积,在欧姆接触层的另一侧形成一台面;一红外吸收层,该红外吸收...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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