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测试方法、测试装置及电子设备制造方法及图纸
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文档序号:37471639
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本申请提供一种测试方法、测试装置及电子设备,对器件进行电位扫描,测试对器件施加交流电压时器件的衬底电流,获取衬底电流中的交流电流,相邻交流电流之间的差值绝对值首次处于第一阈值时,根据相邻交流电流对应的直流电压确定器件的平带电压。本申请的方案...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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