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本发明提供了一种晶圆的静电吸附方法及静电吸附卡盘，晶圆置于反应腔室内的静电卡盘上，静电吸附方法包括：在静电卡盘上施加第一电压值以对晶圆进行静电吸附，判断是否吸附成功；响应于吸附失败，在反应腔室内检测晶圆的翘曲度；基于翘曲度获取适配的吸附电压...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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