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测试方法、测试装置及电子设备制造方法及图纸
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文档序号:37452382
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本申请提供一种测试方法、测试装置及电子设备,对器件施加多个反偏电压,测试每个反偏电压对应的反偏电流,相邻反偏电流之间的差值处于第一阈值内时,将相邻反偏电流中较大的反偏电流作为最大反偏电流,而后根据最大反偏电流以及器件的体相少子浓度和少子扩散...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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