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本申请提供了一种掩模版的参数监控方法、装置及计算机可读存储介质，该方法包括：首先，提供基准掩模版；然后，借助基准掩模版，获取相位角与掩模版尺寸之间的第一关系，获取透射率与掩模版尺寸之间的第二关系，掩模版尺寸至少包括掩模版关键尺寸；之后，提供...
该专利属于无锡迪思微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡迪思微电子有限公司授权不得商用。

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